溫控探針臺是一款使用溫度范圍在-190℃-600℃的儀器，在我們使用時還可對樣品氣氛進行控制，同時允許探針電測試、光學(xué)觀察和樣品氣體環(huán)境控制。這樣既可以保證，即使在極低溫度下，腔體也不產(chǎn)生結(jié)霜影響實驗，又可以防止樣品發(fā)生氧化。探針臺上蓋與底殼構(gòu)成一個氣密腔，可往內(nèi)充入氮氣等保護氣體，來防止樣品在負(fù)溫下結(jié)霜，或高溫下氧化。此款通過杠桿式支架，使用的是彎針探針。相比傳統(tǒng)的直針探針，這種設(shè)計不僅點針更準(zhǔn)確，而且點針力度更大，和樣品的電接觸性更好。
作為半導(dǎo)體封測行業(yè)三大設(shè)備之一，探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)以及光電行業(yè)的晶圓、芯片等器件的測試，研發(fā)難度大，國產(chǎn)化率低，進口依賴度高，它的品質(zhì)和精度直接決定測試可靠性與否。探針臺加工廠家潮濕的環(huán)境及長時期保養(yǎng)不當(dāng)將很容易使定子發(fā)生銹蝕現(xiàn)象。
溫控探針臺的功能特點：
1、可編程精密控溫?？瑟毩⒖刂?，也可從上位機軟件控制；
2、探針需開蓋移動，樣品臺面電接地；
3、探針分別導(dǎo)通冷熱臺外殼上的4個BNC接口；
4、杠桿式探針支架，點針力度更大，電接觸性更好；
5、彎針探針，點針更精準(zhǔn)；
6、默認(rèn)氣密腔室，通問2個快速自鎖接頭，可充保護氣體；
7、上蓋帶有樣品觀察窗；
8、臺體內(nèi)置干燥氣體管道，用于負(fù)溫時對視窗的除霜；
9、視窗可拆卸與更換，可用不同材質(zhì)窗片實現(xiàn)不同波段光觀察；
10、軟件可拓展性強，可提供LabView等語言的SDK；
半導(dǎo)體測試是半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的重要環(huán)節(jié)，其測試設(shè)備包括測試機、分選機、探針臺。其中，測試機是檢測芯片功能和性能的專業(yè)設(shè)備，分選機和探針臺是將芯片的引腳與測試機的功能模塊連接起來的專業(yè)設(shè)備，與測試機共同實現(xiàn)批量自動化測試。受益于國內(nèi)封裝測試業(yè)產(chǎn)能擴張，半導(dǎo)體測試設(shè)備市場快速發(fā)展。
